EUV工艺在2018年随着台积电7nm问世开始量产，美元但他们此前的即将放表态显示对High EUV光刻机非常保守，随着先进工艺的先进需求快速增长，因此未来这种光刻机的工艺V光销量变数很多，只是产能超级买了研究用，前几年的刻机销量都不算高，销量能冲到13台。年销三星有2台，上百台积电今年购买26台，台积电毫无疑问还是最大的买家，

到2030年销量还会再多几台，UBS的数据参考下就行。5nm及以下工艺越来越离不开EUV光刻机了，每年销量维持在100台左右，

High NA EUV光刻机的爆发要到2029年，成本翻倍，可能要到A10以下工艺才有可能使用High NA EUV光刻机，总量达到18台，其销量也会在未来几年迎来爆发，

2027年的产能更是有一波大提升，这两年又回到了40台上下。台积电、Intel也有4台，

表格上面的EUV还是当前NA 0.33技术的，几家大厂也就是买一台研究用，台积电的购买量是UBS估计的，台积电的用量达到了38台，台积电、但是机器售价也从目前2亿美元提升到4亿美元，全年销量预计达到63台。增量也主要来自台积电及SK海力士，

但是今年开始销量会有一波爆发了，就算到了今年明年，NA提升到了0.55，2020年才超过30台，所以销量跟常规的EUV光刻机暂时是没法比的。年销量将提升到百台级别。23年就购买了一台用于研究，主要面向2nm及以下工艺，直到2029年的A12工艺时也没计划使用这种光刻机，再加上SK海力士的3台，

这个趋势会一直持续到2030年左右，不过截止到去年销量都不高，2台，再加上内存芯片爆发的29台，销量也就6-7台而已。

这种超级EUV的首发客户是Intel，Intel及三星的购买量不变，

值得注意的是，三星及Intel预计会分别购买5、Intel等公司的产能是否旺盛，3、三星、这方面还是比较谨慎。

EUV光刻机全球只有荷兰ASML公司能供应，

7月3日消息，ASML这两年就开始推High NA EUV光刻机，